Control-oriented modeling and feedback control of reactive sputtering
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| Autor: | Wölfel, Christian |
| Nakladatel: | Books on Demand |
| ISBN: | 375267105X |
| Rok vydání: | 2021 |
| Jazyk : | Angličtina |
| Vazba: | pevná |
| Počet stran: | 288 |
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