Nanoimprint Lithography: An Enabling Process for Nanofabrication
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Autor: | Zhou, Weimin |
Nakladatel: | Springer Berlin Heidelberg |
ISBN: | 3642344275 |
Rok vydání: | 2013 |
Jazyk : | Angličtina |
Vazba: | pevná |
Počet stran: | 272 |
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