Thermoelectrical Effect in SiC for High-Temperature MEMS Sensors
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Introduction to SiC and Thermoelectrical Properties.- Fundamentals of Thermoelectrical Effect in SiC.- Desirable Features for High Temperature SiC Sensors.- Fabrication of SiC MEMS Sensors.- Impact of Design and Process on Performance of SiC Thermal Devices.- Applications of Thermoelectrical Effect in SiC.- Future prospects of SiC Thermoelectrical Sensing Devices.
| Autor: | Dinh, Toan |
| Nakladatel: | Springer, Berlin |
| Rok vydání: | 2018 |
| Jazyk : | Angličtina |
| Vazba: | Paperback / softback |
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